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반도체 - 소재

반도체 생산 공정부터 제품 테스트까지의 완벽한 하모니, SK 텔레시스가 함께 하겠습니다.

Photo 소재

Wafer위에 원하는 Pattern을 정확한 위치와 크기로 형성시키는 노광 공정에 사용되는 소재들을 공급하고 있습니다.
- 제품 종류 : KrF PR, Top Coat SOC(Spin-on Carbon), SOD(Spin-on Dielectric) 등
Photo 소재 이미지


Deposition 소재

Source 가스 또는 금속류를 기판 표면 위에 반응시켜 필요한 박막을 형성하는 CVD, PVD공정에 사용되는 소재들을 공급하고 있습니다.
- 제품 종류 : Precursor 류, Target 류
Deposition 소재 이미지


Cleaning / Etch 소재

오염물질 혹은 원하지 않는 박막을 세정액을 통해 제거하는 Cleaning 공정에 사용되는 소재들을 공급하고 있습니다.
- 제품 종류 : Resist Remover 류
식각액(또는 Plasma)으로 PR로 Coating되지 않는 부분을 깎아 내는 Etch 공정에 사용되는 소재들을 공급하고 있습니다.
- 제품 종류 : BOE, Au Etchant 등의 식각액 류
Cleaning 소재 이미지
Etch 소재 이미지


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